Танки филм литијум ниобата (ЛиНбО3).
Танки филм литијум ниобата (ЛиНбО3) је основни материјал за интегрисану фотонику и уређаје за површинске акустичне таласе, који игра незаменљиву улогу у оптичким модулаторима високих-учинак, таласоводима, сензорима и РФ филтерима због својих одличних електро-оптичких, акустичких,-нелинијских својстава. Одликује се високим индексом преламања, широким прозором транспарентности, јаким електро-оптичким коефицијентом и добром хемијском стабилношћу, омогућавајући ефикасну модулацију оптичког сигнала и пренос малих- губитака. Међутим, квалитет површине танких филмова ЛиНбО3 директно утиче на оптичке губитке, ефикасност модулације и поузданост уређаја, посебно у апликацијама високе{9}}фреквенције и велике{10} снаге, које захтевају врхунску храпавост површине, равност и интегритет.
Компанија Хемеи поседује систематско искуство у обради напредних оптичких филмова и кристалних материјала. Циљајући материјалне карактеристике танких филмова ЛиНбО3, Хемеи је развио решење за полирање и планаризацију које постиже високу површинску прецизност уз минимизирање под{2}}оштећења испод површине. Овај процес покрива цео процес обраде површине од припреме епитаксијалног филма до пост-интеграције уређаја, обезбеђујући да испуњава строге захтеве за глатке површине на атомском-нивоу, мали губитак расејања и одличну оптичку униформност коју захтевају брза-оптичка комуникација, квантна оптика и РФ системи.
Захтеви за пријаву
Циљеви полирања и површинске обраде танких филмова ЛиНбО3 укључују:
Смањење храпавости површине (Ра) на< 0.5 nm to minimize transmission loss in waveguides and insertion loss in modulators.
Постизање укупне варијације дебљине (ТТВ) мање од или једнако 1 μм како би се осигурала конзистентност у дистрибуцији оптичког и електричног поља.
Добијање -површине без оштећења без-површинских дефеката, испуњавање захтева за високу ефикасност модулације и дуг животни век уређаја.
Контролисање униформности дебљине (ТТВ) у оквиру одређеног микрометарског{0}}опсега.
Да би постигао ове циљеве, Хемеи-јев процес користи прилагођене системе везивања и више{0}}процедуре полирања како би се обезбедила геометријска тачност и интегритет површине током обраде.
Спецификације система
Хемеи-јев модуларни систем за полирање подржава обраду ЛиНбО3 танких филмова различитих величина и облика. Основни системи укључују:
ХСМ-Серија Л/ЛП опреме за преливање: За почетно уклањање материјала и контролу дебљине.
Систем хемијско-механичког полирања (ЦМП) серије ХСМ-ЦМП: За постизање ултра-глатких,-површина без оштећења.
Кључни подсистеми укључују:
Јединица за везивање{0}специфична за плочице/кристал (ВБ)
СЈ/АСЈ Серија Прецизни прибор за полирање
Ц-АСЈ Дриве Хеад Хигх-Систем за полирање велике брзине
Ток обраде
Лепљење и монтажа: ЛиНбО3 танак филм је привремено везан за носећу плочу помоћу ВБ јединице, а затим се монтира на уређај за полирање.
Грубо и средње полирање: Контролисано преливање се обавља на ХСМ-Л опреми да би се уклонио слој оштећене обраде.
Фино полирање: ХСМ-ЦМП систем обавља завршно полирање. Параметри као што су притисак, брзина ротације и проток суспензије се прилагођавају у реалном-времену да би се постигла глаткоћа површине на нивоу нанометара{3}}.
Типични резултати
Храпавост површине (Ра) смањена на< 0.5 nm.
Варијација укупне дебљине (ТТВ) Мања или једнака 1 μм.
Површина{0}}без оштећења без{1}}површинских дефеката.
Брзина уклањања материјала која се може контролисати од 0.05 - 0.2 μм/мин.
Компанија Хемеи обезбеђује комплетно и контролисано решење за полирање и планаризацију танких филмова литијум ниобата. Ово решење стабилно испоручује квалитет површине на атомском-нивоу и одличне фотоелектричне перформансе, робусно подржавајући индустријску примену и побољшање перформанси ЛиНбО3 танких филмова у најсавременијим-областима као што су оптичка комуникација велике-брзе, интегрисани фотонски чипови, микроталасна фотоника, сенсинг и квантна обрада информација.
